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时间: 2024-03-12 10:53:14 来源:bob和博鱼平台下载
1.目的:在电子来料、制造、出货过程中,防止静电对半导体器件的破坏导致品质缺陷。
2.范围:ESD区域特指贴片车间和电源车间。在原材料仓库,ESD器件来料必须全部采用防静电包装,在材料存储和发放过程中不能脱离防静电包装。电源成品一定要采用防静电包装袋或防静电包装箱,
3管理职责:制造部车间负责ESD区域中ESD系统管理和维护。品质部负责在产品检验和试验过程中采取应有的ESD措施。
4.1对具有固定的单个自动测试设备,操作者工作过程中原则上是坐着进行的,但时有站立操作或作方圆式走动以及类似这种作业方式的岗位:
e)操作者坐椅应配有防静电靠背椅套和防静电坐垫,操作时人脚应踩在地垫上。
4.2对流水作业线上的流动岗位,操作者应戴有防静电腕带,当走到某一工位作业时,必须先将腕带的鳄鱼夹夹到线体接地点上。由于流水线线体是统一接入大地地网的,所以这些流动岗位能够使用静电泄漏工艺,来达到静电安全的目的。为了达到最佳效果,这些流动岗位涉及的范围,均应辅设防静电地垫。
4.3对于操作岗位的静电控制,主要是通过对仪器设施的接地连接和操作人员配带防静电腕带,使得操作过程中产生的静电通过接地泄漏至大地,同时操作人员应穿防静电工作服。
5.1静电防护区(点)除典型的静电泄漏法防护区外,采用其他的静电控制工艺所形成的防护作业区,其一般要求都是一致的。一个静电防护区(点)的出入口至多两个,并视为安全门,在其门口的醒目位置,设有永久性的黄底黑字的安全区(点)的名称牌,并设有永久性的统一的警告标志。
5.2静电防护区(点)的安全门口,均应设有地线母线桩,以供进入安全区的操作人员或其他人员释放自身积聚的静电荷之用。
5.3作业区的室温应控制在15~25℃之间,相对湿度应控制在50~70%之间,禁止在相对湿度低于30%的环境内放置或操作SSD。
5.6作业区(点)内凡涉及到操作SSD的所有桌面都必须是导静电的。桌面,仪器设施、人体都必须安全接地(即处于零电位)或置于无静电环境中,泄漏静电桌面上不得再加铺普通塑料板、塑料布、胶木板、橡皮垫等。
5.7静电防护区(点)内,尤其是工作台上禁止放置非生产性物品,如餐具、茶叶听、提包、毛织品、塑料制品、鸡毛掸、报刊、橡胶手套、药瓶、圆锥形纸卷等物。
5.8静电防护区(点)内操作人员所用的图纸、资料,应装入透明的防静电塑料袋内,不得使用普通的塑料袋。
5.9静电防护区(点)内,在生产作业过程中,不得随意推拉窗帘(除非挂置防静电专用窗帘)。
5.10操作人员在每次重新上岗操作前(包括停工待料一段时间后)必须作静电防护安全性检查,合格后才能进行生产。
5.11静电防护区(点)内有必要进行某种维护、修理作业时,维护人员应携带并使用防静电维修包,应遵守安全区的有关规定。
5.12对新进厂人员和第一次涉及静电防护作业工种的人员,必须事前进行静电敏感器件安全操作的教育,方可进入作业区(点)上岗操作。
5.13静电防护区(点)内所使用的包装作业材料,必须选用导电塑料薄膜或防静电聚脂泡沫或防静电气垫膜等,要求一切包装材料在作业过程中不积累电荷。
5.14静电防护区(点)内,一定要经常进行高压危害的检查,以便及时排除有造成人身高压损伤的可能性。
5.15静电防护区(点)的操作人员,均应穿防静电工作服,防静电工作鞋(袜),戴防静电工作手套和工作帽。
5.16非防护区人员,经许可进入生产现场时,亦一定要进行人体静电释放,并穿好防静电工作服、工作鞋,在生产场所不许随手触摸SSD或PCB,不许靠近正在操作的人员。
5.18静电防护区(点)内的设施,要按生产的全部过程需要而确定的静电操控方法与工艺的规定进行安装。
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